|
Одним из основных требований к вакуумным подшипникам является их чистота. Обычный опорный узел, смазанный простой смазкой, легко становится источником загрязнения вакуума из-за повышенного давления паров смазочного вещества. Поэтому, чаще всего, в камерах такого оборудования устанавливают не смазываемые детали. При небольших частотах вращения такой подход вполне допустим, а кроме этого, акцент в этой сфере делается на подшипниках из керамики, не требующих дополнительного смазывания. В том же случае, когда деталь в вакууме работает под большой нагрузкой и вращается с большой скоростью, могут применяться специальные вакуумные смазки, давление паров которых минимально.
|
.png)
